E.A. Fischione社製　電子顕微鏡用試料作成装置　イオンミリング装置他

E.A. Fischione社　製品は株式会社ニューメタルスアンドケミカルスコーポレーション・機械部　柴田様 電話：03(5202)5665　Fax:03(3271)5860　メール：shibata@newmetals.co.jp と弊社業務提携取扱商品です。　それぞれの詳しい商品のカタログ、商品の説明をご希望の方は柴田様或いは弊社まで連絡いただきたく存じます。

FIB　後処理用　イオンミリング装置　Model 1040　ナノミル

FIB（集束イオンビーム）により作製されたTEM試料に対する、後処理用ミリング装置です。　FIBを用いて試料を作製すると、表面のアモルファス化やガリウムの注入を生じる事が多くあり、このようなダメージ層は10nm〜30nmになることもあります。　ナノミルは、このようなダメージ層の除去に最適な装置です。　SED（２次電子検出器）により試料の画像を取得し、目的のみをピンポイントでイオンミリング出来ますので、レデポ（再堆積）の発生も防げます。

TEM 試料用　イオンミリング装置　Model　1051　TEM ミル

ダメージのない高品質の透過電子顕微鏡（TEM）用試料作製するためのイオンミリング装置です。　特許技術のTrueFocusイオン源は、広範な加速電圧に対して細いブームを維持します。　イオンビームの加速電圧は100eV〜10keVの範囲で、ミリング角度は-15°〜+10°の範囲で任意に設定できますので、試料の高速ミリングから最終ポリッシングまであらゆる工程で利用いただけます。　ロードロック機構（予備排気室）を搭載しており、試料の出し入れを迅速に行う事が可能です。　液体窒素冷却システム、ミリング位置微調整ホルダー、真空封入移動カプセルなど、オプション群も充実しています。

TEM試料用　イオンミリング装置　PicoMill Model　1080

微細電子工学と半導体TEM試料に特化したTEM試料用イオンミリング装置です。
〇TEMスタイルのゴニオメーター。
〇インサイチュの画像確認が可能。
〇プログラムによる自動終了が可能。
〇最大加速電圧10keV。

ダメージのない高品質の走査型電子顕微鏡（SEM)用試料を作製するためのイオンミリング装置です。　2つのイオン源を装備しており、2方向からの高速ミリングが可能です。　サンプル位置の自動検出機能を搭載しており、あらゆる高さのサンプルに対してステージ位置を自動調整します。　オプションの断面試料用ローディングステーションを用いれば、ミリング位置と遮蔽マスクを正確にアライメントできる為、高品質の断面試料が作成できます。　フォーカス調整によりビーム径の調整ができることも特徴で、あらゆるサンプル、あらゆる用途に対して最適なイオンミリングを行えます。

大口径　SEM　試料用　イオンミリング装置　Model　1062　トリオンミル

この装置は、完全に自動化された卓上型アルゴンイオンミルで、ミリングパラメーターの設定自由度を大幅に改善したことで平面および断面試料の大規模なミリング加工を行います。　３つのイオン源の搭載により、直径50mmまでの試料を効果的に処理し、イオンミリングならではの極めて均一で平滑な表面性状を広範にわたって創出します。　周囲環境に敏感な材質の試料もSEMやFIBへ直接移動が可能です。

半導体用　ミリスケールディレイヤーミリング装置　Model　1064　チップミル

ミリスケールでナノメーターの平滑なディレイヤーを行うイオンミリング装置です。　

●　T最大ミリングエリア　10×10　mm

●　AIフィードバック制御によりミリング工程を自動化。

電子顕微鏡用コンタミ除去装置　Model　1070　ナノクリーン

電子顕微鏡用の試料およびホルダーから、有機物による汚染物質を除去します。　低エネルギーの反応性プラズマの働きにより、試料の組成や性質を変えずに、有機物質のみを除去することが可能です。　2つのホルダーの同時挿入、半導体ウェハーのような大型試料の処理にも対応しています。　

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Model 110 ツインジェット電解研磨装置

TEM用金属試料の薄片化を目的とした電解研磨装置です。　試料の前後方向から電解液を当てるツインジェット方式により、僅か数分で電子透過性の薄片試料を作成できます。

〇ツインジェット方式により、試料の両面を同時に研磨。

〇数分間で電子透過試料を作成。

〇アーチファクトのない試料を作成。

〇電解研磨または化学エッチングが可能。

〇各種パラメータの調整が簡単。

〇電解液への耐腐食の高いサンプルセル。

〇高感度の自動研磨終了システム。

Model 170 超音波ディスクカッター

超音波振動により、任意の形状の試料から、円板、円柱、四角形などの形状を切り抜く為の装置です。

〇透過電子顕微鏡（TEM)試料の抜打ちに最適。

〇断面TEM観察（XTEM）用試料の長方形ウェハーの作成が可能。

〇10μm〜10mmの厚さの抜打ちに対応。

〇ダイヤルゲージにより深さ方向の位置を測定（10μm精度）。

〇抜打ち完了時に自動停止（導通検知センサー）。

Model 200 ディンプリンググラインダー

高品質のTEM試料を作成するための最新式の試料薄膜化装置です。　使用方法が簡単で、再現性の高い薄片化が可能です。

〇グラインディング速度を自動制御。

〇カウンターウェイト方式によりグランインディング加重を調整。

〇グラインディングホイールと試料ステージの回転と独立して制御。

〇磁気マウントの採用により試料の位置調整が簡単。

〇キーパッドによる簡単操作。

〇透過光または反射光を用いた試料の観察。

Model 130 試料打ち抜きパンチ

薄い金属片から高品質の円板試料を打抜く為のパンチです。　精密なパンチとダイプレートの組み合わせにより、試料へのストレスやゆがみを防ぎます。　スプリングが内蔵されたリターンプランジャーの働きにより、円板試料は常にダイプレート表面に戻されます。　抜打ち径は3.0mm、オプションとして、安定性の高い定番を付けることが可能です。

Model 160 試料グラインダー

機械研磨によりTEM試料を均一に薄片化する為の治具です。　最終工程のディンプリングやイオン三ミリングの時間を大幅に短縮できます。

〇高い精度の再現性。

〇ダイヤルを回して試料の最終的な厚さを調整。

〇均一で平行な仕上がり。

〇直径18mmまでの試料の取り付けが可能。

〇ディンプリング、イオンミリングの前工程として最適。

〇付属のプラテンはModel200ディンプリンググラインダーにそのまま取り付けが可能。

Model 180 断面試料作成用キット

高品質なTEM用断面試料作成するためのキットです。　断面試料の積層、保持、観察領域のアラインメント、接着層の均一化等の工程に必要な治具一式を含んでおります。　超音波ディスクカッターModel170と共にご利用ください。

Model 9020 真空ポンピングステーション

5本までのTEM用試料ホルダーを真空下に保管できます。

〇安定性の高い金属ベースを採用。

〇Model1020プラズマクリーナーによる真空引きが可能。

Model 9030 ターボポンピングステーション

クライオトモグラフィホルダーとTEM試料台ホルダー向けのパワフルでカスタマイズ可能な真空ポンピングステーションです。

〇Model2550　クライオトモグラフィのディワーを真空引きします。

〇FEIまたはJEOLのシングルホルダーを搭載しながら、最大4つ搭載可能なクワッドホルダーも使用可能。

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